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木虫 (小有名气)

[交流] 用XRD掠入射测试Si基板LaB6薄膜,Si峰强度是不是无法低于需要的LaB6峰

最近有个样品,Si基片上沉积LaB6膜,入射角从0.5调到0.2,Si的峰28左右有明显下降,但是依然是很明显的,感觉再降低一下入射角,Si的峰会再降低下去?有没有确定这个入射角的方法,不用一直尝试?有没有熟悉的虫虫?

用XRD掠入射测试Si基板LaB6薄膜,Si峰强度是不是无法低于需要的LaB6峰
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