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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 硅纳米棒列阵制备的方法
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333哈哈

新虫 (初入文坛)

[求助] 硅纳米棒列阵制备的方法 已有1人参与

激光干涉图案化硅光刻胶模板后，硅纳米棒列阵制备的方法。最好能给一些相关文献。本科生做实验。。。。。。求帮助，谢谢
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1楼 2015-10-24 19:43:25
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333哈哈

新虫 (初入文坛)
送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by 屠呦呦 at 2015-10-24 20:46:32
你的问题等价于硅top-down刻蚀工艺，典型干法工艺是rie，湿法工艺是金属催化腐蚀。方法很多，这两种最为常见。

～

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
4楼2015-10-25 09:44:10
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屠呦呦

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
你的问题等价于硅top-down刻蚀工艺，典型干法工艺是rie，湿法工艺是金属催化腐蚀。方法很多，这两种最为常见。

发自小木虫Android客户端
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333哈哈
2楼2015-10-24 20:46:32
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333哈哈

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 屠呦呦 at 2015-10-24 20:46:32
你的问题等价于硅top-down刻蚀工艺，典型干法工艺是rie，湿法工艺是金属催化腐蚀。方法很多，这两种最为常见。

谢谢你^ _ ^

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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3楼2015-10-25 09:43:03
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zh821217339

金虫 (小有名气)
请问你的硅模板是在哪买的，我也想买硅模板
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知识的力量是无穷大的
5楼2016-03-28 22:19:36
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