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PLD做薄膜,基片用银浆老是粘不住怎么回事
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| 我用PLD做薄膜,Pt基片是用的银浆粘在基片架上的,(银浆就是压电陶瓷做电极、在850℃烧成的银浆),涂上银浆在120℃的烘箱里烘烤30min后,才安到PLD设备上。但是每次都是在抽真空的时候基片就掉下来,求大神赐教怎么回事? |
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wiseroy
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