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optimisery银虫 (小有名气)
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[交流]
大家都是如何存放 Wafer/DIE 的（尤其是MEMS的）？
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如题。在下是做测试的，经常需要分批测试一个wafer上的各种器件，然后实验室没有超净间，氮气柜用的人太多还不如随便什么柜子干净。。。 用过的一些储存方式如下： 【自吸盒】不好用，粘的太紧，用镊子抠下来总会抠掉渣，然后DIE上的结构就废了；经常是徒手掰wafer，出来都是大块的，更加是粘上去就下不来了。。。 【Tape ring】流片的时候自带的，一个塑料圈中间一层蓝膜，感觉非常方便，粘的紧但是可以从背面把片子慢慢顶下来，但是不密封也没法祛湿，关键是都找不到哪里能买。。。 【培养皿】以及类似的玻璃小盒子，优点是清洗方便、可以密封（保鲜膜）、还可以搞点吸潮的东西在里面（然后垫个滤纸放DIE），缺点是没有很好的办法把DIE固定住，很可能一碰一颠，DIE翻个面啥的，结构就废了。。。 【晶片盒】适合放整个Wafer，或者切好的背面贴着蓝膜的片子，不适合放零散的DIE或者徒手掰的片子。。。 求各路大神推荐好用的存放容器啊 |
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