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mayjiujiu铁虫 (初入文坛)
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ALD生长氧化铪基薄膜的漏电流问题
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最近刚接触原子层沉积，想调研一下其生长氧化铪基薄膜漏电流的问题，看了好多文献，想问针对ALD这种方法，如何减小薄膜漏电流？？新手，请多指教！ 发自小木虫Android客户端 |
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2楼2018-10-10 23:36:14