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mayjiujiu铁虫 (初入文坛)
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ALD生长氧化铪基薄膜的漏电流问题
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最近刚接触原子层沉积,想调研一下其生长氧化铪基薄膜漏电流的问题,看了好多文献,想问针对ALD这种方法,如何减小薄膜漏电流??新手,请多指教! 发自小木虫Android客户端 |
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