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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 计算模拟区 » 计算模拟 » 其他 » comsol模拟MPCVD沉积金刚石
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huy12

铁虫 (小有名气)

[求助] comsol模拟MPCVD沉积金刚石

做了一段时间，依然遇到两个问题，一是等离子体模块与ＲＦ模块多物理场耦合，二是模拟谐振腔电磁场分布微波入口的问题，望各位大神不吝赐教！！
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想起那天夕阳下的奔跑，那是我逝去的青春
1楼 2015-10-22 09:10:31
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ustcwgj0219

新虫 (初入文坛)
您好，最后您用comsol能实现微波等离子模拟么，我正在做，但收效不好
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4楼2017-04-24 18:57:34
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一年始

金虫 (初入文坛)
楼主想模拟磁控溅射还是弧源

发自小木虫Android客户端
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2楼2015-12-01 23:18:12
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huy12

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 一年始 at 2015-12-01 23:18:12
楼主想模拟磁控溅射还是弧源

微波法做的，不是磁控溅射或者电弧
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想起那天夕阳下的奔跑，那是我逝去的青春
3楼2016-03-03 09:38:20
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冷冷月光

银虫 (小有名气)
楼主，想问您最后comsol的收效好吗？
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有些事情只有经过时间的积累，才能够有所收获！
5楼2017-11-19 17:41:13
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