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huy12

铁虫 (小有名气)

[求助] comsol模拟MPCVD沉积金刚石

做了一段时间,依然遇到两个问题,一是等离子体模块与RF模块多物理场耦合,二是模拟谐振腔电磁场分布微波入口的问题,望各位大神不吝赐教!!
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想起那天夕阳下的奔跑,那是我逝去的青春
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ustcwgj0219

新虫 (初入文坛)

您好,最后您用comsol能实现微波等离子模拟么,我正在做,但收效不好
4楼2017-04-24 18:57:34
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一年始

金虫 (初入文坛)

楼主想模拟磁控溅射还是弧源

发自小木虫Android客户端
2楼2015-12-01 23:18:12
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huy12

铁虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 一年始 at 2015-12-01 23:18:12
楼主想模拟磁控溅射还是弧源

微波法做的,不是磁控溅射或者电弧
想起那天夕阳下的奔跑,那是我逝去的青春
3楼2016-03-03 09:38:20
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冷冷月光

银虫 (小有名气)

楼主,想问您最后comsol的收效好吗?
有些事情只有经过时间的积累,才能够有所收获!
5楼2017-11-19 17:41:13
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