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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 求助！各位大神，合金靶直流磁控溅射镀的膜元素成分比例的一些疑问
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tracyyanvon

新虫 (小有名气)

[求助] 求助！各位大神，合金靶直流磁控溅射镀的膜元素成分比例的一些疑问

本人用合金靶材做直流磁控溅射镀膜，合金靶材是Ce-Gd,摩尔比为8:2，溅射气体是Ar和O2，但是给镀出的膜测XRD，在PDF卡片找不到所对应的衍射峰，然后又做了个元素成分分析，发现元素成分比例也和靶材的比例不一样，有哪位大神可否帮帮忙解答下小弟？非常感谢,！
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1楼 2015-10-20 13:15:20
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kai004

铜虫 (小有名气)
溅射膜与靶材成分不匹配可能是溅射参数不好或靶材质量不好，我是个fresh，在研究金基合金靶材

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2楼2015-10-24 09:38:37
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tracyyanvon

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by kai004 at 2015-10-24 09:38:37
溅射膜与靶材成分不匹配可能是溅射参数不好或靶材质量不好，我是个fresh，在研究金基合金靶材

你做出来的膜的物相和靶材的物相有什么关联吗？
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3楼2015-10-27 10:15:09
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