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tracyyanvon新虫 (小有名气)
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[求助]
求助！各位大神，合金靶直流磁控溅射镀的膜元素成分比例的一些疑问
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| 本人用合金靶材做直流磁控溅射镀膜，合金靶材是Ce-Gd,摩尔比为8:2，溅射气体是Ar和O2，但是给镀出的膜测XRD，在PDF卡片找不到所对应的衍射峰，然后又做了个元素成分分析，发现元素成分比例也和靶材的比例不一样，有哪位大神可否帮帮忙解答下小弟？非常感谢,！ |
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2楼2015-10-24 09:38:37
tracyyanvon
新虫 (小有名气)
- 应助: 1 (幼儿园)
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- 红花: 1
- 帖子: 101
- 在线: 5.8小时
- 虫号: 3471416
- 注册: 2014-10-13
- 专业: 金属材料
3楼2015-10-27 10:15:09