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新虫 (小有名气)

[求助] 求助！各位大神，合金靶直流磁控溅射镀的膜元素成分比例的一些疑问

本人用合金靶材做直流磁控溅射镀膜，合金靶材是Ce-Gd,摩尔比为8:2，溅射气体是Ar和O2，但是给镀出的膜测XRD，在PDF卡片找不到所对应的衍射峰，然后又做了个元素成分分析，发现元素成分比例也和靶材的比例不一样，有哪位大神可否帮帮忙解答下小弟？非常感谢,！

1楼 2015-10-20 13:15:20

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铜虫 (小有名气)

溅射膜与靶材成分不匹配可能是溅射参数不好或靶材质量不好，我是个fresh，在研究金基合金靶材

发自小木虫IOS客户端

2楼2015-10-24 09:38:37

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新虫 (小有名气)

引用回帖:

2楼: Originally posted by kai004 at 2015-10-24 09:38:37
溅射膜与靶材成分不匹配可能是溅射参数不好或靶材质量不好，我是个fresh，在研究金基合金靶材

你做出来的膜的物相和靶材的物相有什么关联吗？

3楼2015-10-27 10:15:09

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