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tracyyanvon新虫 (小有名气)
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[求助]
求助！各位大神，合金靶直流磁控溅射镀的膜元素成分比例的一些疑问
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| 本人用合金靶材做直流磁控溅射镀膜，合金靶材是Ce-Gd,摩尔比为8:2，溅射气体是Ar和O2，但是给镀出的膜测XRD，在PDF卡片找不到所对应的衍射峰，然后又做了个元素成分分析，发现元素成分比例也和靶材的比例不一样，有哪位大神可否帮帮忙解答下小弟？非常感谢,！ |
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2楼2015-10-24 09:38:37
tracyyanvon
新虫 (小有名气)
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3楼2015-10-27 10:15:09