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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 各位大虫子，如何得到硅纳米阵列
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科研小弱弱

铁虫 (初入文坛)

[求助] 各位大虫子，如何得到硅纳米阵列 已有1人参与

本人打算在Cu衬底上溅射Si薄膜, 想做成Si的纳米阵列，直径大概100nm左右，用湿刻的话，直接Cu衬底就被腐蚀没了，干刻却没办法弄到nm级别的阵列
这可如何是好？
AAO模板的话该怎么做呢？ 还有其他的好办法没？
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1楼 2015-10-12 22:14:07
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科研小弱弱

铁虫 (初入文坛)
不能沉啊。

发自小木虫IOS客户端
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2楼2015-10-12 22:30:46
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SST-LEMON

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

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3楼2015-11-23 15:23:40
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