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科研小弱弱

铁虫 (初入文坛)

[求助] 各位大虫子,如何得到硅纳米阵列 已有1人参与

本人打算在Cu衬底上溅射Si薄膜, 想做成Si的纳米阵列,直径大概100nm左右,用湿刻的话,直接Cu衬底就被腐蚀没了,干刻却没办法弄到nm级别的阵列
这可如何是好?
AAO模板的话该怎么做呢? 还有其他的好办法没?
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科研小弱弱

铁虫 (初入文坛)

2楼2015-10-12 22:30:46
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SST-LEMON

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

内容已删除
3楼2015-11-23 15:23:40
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