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各位大虫子，如何得到硅纳米阵列 已有1人参与
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本人打算在Cu衬底上溅射Si薄膜, 想做成Si的纳米阵列，直径大概100nm左右，用湿刻的话，直接Cu衬底就被腐蚀没了，干刻却没办法弄到nm级别的阵列 这可如何是好？ AAO模板的话该怎么做呢？ 还有其他的好办法没？  |
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