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AFM测试问题
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| 用AFM测试时,装完样后直接点测量为什么针尖老是会碰到晶片?针尖接触晶片的过程中会有一个fast approch,然后就悲催了。。。请教大神为什么会这样,它不是会有一个自动感应吗?接近到一定程度不是就不接近了吗? |
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zdb2014
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