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离子注入时怎样根据掺杂浓度来计算相关剂量和能量 已有1人参与
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| 最近需要进行离子注入，P型掺杂(Be)，浓度约为2×10的19次方，每立方厘米。是注入要铟镓砷磷材料中。我用SRIM模拟了一下，但结果似乎并不可靠。希望有懂的前辈指点一二，十分感谢。 |
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2楼2015-10-30 10:24:45
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