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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 半导体 » 离子注入时怎样根据掺杂浓度来计算相关剂量和能量
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半山菊花

新虫 (初入文坛)

[求助] 离子注入时怎样根据掺杂浓度来计算相关剂量和能量 已有1人参与

最近需要进行离子注入，P型掺杂(Be)，浓度约为2×10的19次方，每立方厘米。是注入要铟镓砷磷材料中。我用SRIM模拟了一下，但结果似乎并不可靠。希望有懂的前辈指点一二，十分感谢。
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1楼 2015-10-10 15:58:14
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枫菱泪

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

这个用sr模块就能很好的模拟，应该结果是比较准确的，你有没有中文教程，教程的第一部分就是讲这个啊
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2楼2015-10-30 10:24:45
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摇一摇2号

新虫 (小有名气)
请问，怎么计算离子浓度啊，看了教程，但还是不太明白，怎么浓度比注入剂量还大呢

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3楼2020-03-22 12:51:10
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