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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术交流 » 如何成功制备薄膜截面TEM样品？如何将薄膜从Si衬底或者玻璃基底上分离？
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黄文成

银虫 (初入文坛)

[求助] 如何成功制备薄膜截面TEM样品？如何将薄膜从Si衬底或者玻璃基底上分离？ 已有1人参与

各位大神，小弟研二，做的方向时镁基储氢薄膜，老师要求要制备出一些薄膜TEM样，我先进行的机械减薄，就是将Si衬底给磨掉，磨到微米级别，平面样还好制备，但是截面样真的好难磨啊，坛子里有成功制备过薄膜截面TEM样的大牛吗？能不能将经验分享一二，指点一下小弟，小弟已经被制备TEM样折磨了好久了，还有如果各位大牛知道将薄膜从Si衬底或者玻璃基底上分离也麻烦请指教，拜托拜托了。。。。。
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布衣暖，菜根香，读书滋味长~~~
1楼 2015-10-07 10:59:38
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doesun

新虫 (小有名气)
★
dgf2008: 金币-1, 屏蔽内容, 涉嫌广告内容 2015-11-15 13:43:17
本帖内容被屏蔽
2楼2015-11-13 21:10:11
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doesun

新虫 (小有名气)
上个回复中我的IE没有显示全部的横向方向内容,关于第一条,我向楼主道歉,有误.
如果平面样品可以获得,说明薄膜可以接受常规制样方法;
截面的主要问题就是薄膜和衬底的匹配,要注意在研磨过程中脱落.
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DOESUN中国首家透射电镜截面制样商 15800691931
3楼2015-11-13 21:42:35
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