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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料化学 » 磁控溅射完后惰性气体氩气去哪了？
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新虫 (初入文坛)

[交流] 磁控溅射完后惰性气体氩气去哪了？ 已有2人参与

磁控溅射用氩气来电离出等离子轰击靶材，那然后氩气又去哪了？是不是又重组变回氩气回到大自然了？

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1楼 2015-10-06 16:25:25
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)
★
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不是抽走了吗？
真空中啊
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2楼2015-10-07 16:16:02
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新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by wbcui at 2015-10-07 16:16:02
不是抽走了吗？
真空中啊

工作环境是真空，不过不是用氩气来电离出等离子吗？

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3楼2015-10-07 18:41:56
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mm1461352414

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
氩离子在碰撞过程中能量耗尽，就被真空泵抽走了。
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4楼2015-10-08 09:01:42
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新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by mm1461352414 at 2015-10-08 09:01:42
氩离子在碰撞过程中能量耗尽，就被真空泵抽走了。

那这样就消失了？不会回到大自然中重组了？

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5楼2015-10-08 20:41:39
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