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怎么用SRIM图做出注入浓度对注入深度的关系图
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| 这两天用SRIM模拟软件做了一下离子注入能量和注入剂量对注入层深度关系的研究。发现注入能量对注入深度的影响挺大，但是注入剂量对注入深度的影响极小，不同剂量的离子在靶材中的分布几乎没啥区别，所以很困惑。具体是这么做的，在设置总的注入离子量的时候，小剂量的输入了2000，另一个注入量是这个的3.5倍，因此输入了7000。这样做不知道对不对？望高手答疑。谢谢。 |
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