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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料其他 » 怎么使Si基片与金属氧化物结合紧密？
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queen_man

木虫 (正式写手)

[求助] 怎么使Si基片与金属氧化物结合紧密？

Si基片上有一层自然氧化的SiO2膜，我们想在Si基片上涂覆上一层金属氧化物，但是显而易见，旋涂法的能力有限，并不能够实现精密的结合。
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1楼 2015-09-28 09:30:00
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queen_man

木虫 (正式写手)
我希望虫友可以帮忙提供一种方法，可以增强结合（除了磁控溅射法、气相沉积），
如果可以，最好附上相关文献。
谢谢谢谢
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2楼2015-09-28 09:31:53
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