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怎么使Si基片与金属氧化物结合紧密？
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| Si基片上有一层自然氧化的SiO2膜，我们想在Si基片上涂覆上一层金属氧化物，但是显而易见，旋涂法的能力有限，并不能够实现精密的结合。 |
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