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ITO的pet薄膜 光刻后刻蚀 光刻胶和ITO一起脱落了 已有1人参与
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采用光刻，利用的是正胶，光刻出保护图案，没有光刻胶覆盖的准备刻蚀下去，形成ITO的图案。刻蚀使用的是稀盐酸溶液，盐酸和水的比例为1:3，刻蚀速度很快。整个光刻胶的图案会随着ITO一起掉下来。求高手们提供解决方案。感觉正胶保护不住ITO，覆盖的和没覆盖的一起下来，于是整片都脱落了。不知道有什么解决方法没有。方法若可行，追加悬赏。 , |
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2楼2015-09-20 18:34:57