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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » SU8 系列光刻胶的命名规则是怎样的？
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Lancashire
。
11楼2015-09-20 15:15:21
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zx20032974
12楼2015-09-21 12:48:21
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ZloveA
祝福
13楼2015-09-21 13:03:31
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Carojane
14楼2015-09-22 14:53:18
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cell3627
15楼2015-09-22 17:46:28
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i小木虫

木虫 (正式写手)
SU8，Su8 2000 Su8 3000依次在前者基础上做了改进，至于为什么是2000不是20000，这可能是根据里面添加了某些成分的原因 。之前还有Su850，SU8 100，配方可能没有2000和3000的复杂。
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16楼2015-10-24 10:57:33
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199004

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
16楼: Originally posted by i小木虫 at 2015-10-24 10:57:33
SU8，Su8 2000 Su8 3000依次在前者基础上做了改进，至于为什么是2000不是20000，这可能是根据里面添加了某些成分的原因 。之前还有Su850，SU8 100，配方可能没有2000和3000的复杂。

在哪里可以查到SU-8 系列说明书
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17楼2016-03-03 11:34:17
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lucifer1990

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

SU8 2000.5； SU-8 2002; SU-8 2005等，后面的.5, 2, 5分别指的是，使用旋涂在silicon上，经过曝光显影等一些列操作之后，产生的microchannel对应比较好的高度，比如0.5 um ， 2 um和5 um高。
SU8是microchem公司的，在他们官网上有关于这些胶的说明书，不同的胶使用不同的旋涂机的转速，在不同的平台上，可以产生不同的microchannel的高度。
楼主，我现在在做关于DEP的研究，看你之前回国别人的帖子，你好像有过研究，可以加好友咨询一下吗？
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18楼2016-04-03 03:55:02
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lucifer1990

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

引用回帖:
17楼: Originally posted by 199004 at 2016-03-03 11:34:17
在哪里可以查到SU-8 系列说明书...

MicroChem 公司的，去他们官网就能看到
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19楼2016-04-03 03:56:21
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