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rooinlee

木虫 (正式写手)

天一阁主

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[求助] SU8 系列光刻胶的命名规则是怎样的？已有1人参与

SU 8 2000系列和SU 8 3000系列相比，可以甩出更厚的胶，粘度大。这里的2000 和3000代表什么？
还有SU 8 2000下面有很多型号 SU-8 2000.5； SU-8 2002; SU-8 2005等，后面的.5, 2, 5分别指的是可以做出来的最小线宽吗？

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河北大学-26年秋季入学化学博士招生已经有0人回复

1楼 2015-09-17 08:35:49

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lucifer1990

铁虫 (初入文坛)

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【答案】应助回帖

SU8 2000.5； SU-8 2002; SU-8 2005等，后面的.5, 2, 5分别指的是，使用旋涂在silicon上，经过曝光显影等一些列操作之后，产生的microchannel对应比较好的高度，比如0.5 um ， 2 um和5 um高。
SU8是microchem公司的，在他们官网上有关于这些胶的说明书，不同的胶使用不同的旋涂机的转速，在不同的平台上，可以产生不同的microchannel的高度。
楼主，我现在在做关于DEP的研究，看你之前回国别人的帖子，你好像有过研究，可以加好友咨询一下吗？