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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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虚荣也好

铁虫 (小有名气)

[求助] ALD 原子层沉积

在ALD沉积TiO2时,怎么确定TiO2是否可以被沉积到基体上的?有没有一些理论支撑,或者说是直接实验测试?
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binglvyin

银虫 (小有名气)

楼主,我也想用ALD沉积TiO2薄膜,想请教一下,如果沉积图案化的薄膜,怎么做掩膜?普通光刻胶可以吗?
道生一,一生二,二生三,三生万物~~~
2楼2015-12-04 15:44:20
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babamy

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by binglvyin at 2015-12-04 15:44:20
楼主,我也想用ALD沉积TiO2薄膜,想请教一下,如果沉积图案化的薄膜,怎么做掩膜?普通光刻胶可以吗?

有选择性沉积方法,需要对表面进行适当修饰
babamy@gmail.com
3楼2018-11-23 12:30:53
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