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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料工程 » 产品设计与开发 » ALD 原子层沉积
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虚荣也好

铁虫 (小有名气)

[求助] ALD 原子层沉积

在ALD沉积TiO2时，怎么确定TiO2是否可以被沉积到基体上的？有没有一些理论支撑，或者说是直接实验测试？
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1楼 2015-09-15 20:32:31
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binglvyin

银虫 (小有名气)
楼主，我也想用ALD沉积TiO2薄膜，想请教一下，如果沉积图案化的薄膜，怎么做掩膜？普通光刻胶可以吗？
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道生一，一生二，二生三，三生万物~~~
2楼2015-12-04 15:44:20
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babamy

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by binglvyin at 2015-12-04 15:44:20
楼主，我也想用ALD沉积TiO2薄膜，想请教一下，如果沉积图案化的薄膜，怎么做掩膜？普通光刻胶可以吗？

有选择性沉积方法，需要对表面进行适当修饰
赞一下 回复此楼
babamy@gmail.com
3楼2018-11-23 12:30:53
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