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铁虫 (小有名气)

[求助] ALD 原子层沉积

在ALD沉积TiO2时，怎么确定TiO2是否可以被沉积到基体上的？有没有一些理论支撑，或者说是直接实验测试？

1楼 2015-09-15 20:32:31

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银虫 (小有名气)

楼主，我也想用ALD沉积TiO2薄膜，想请教一下，如果沉积图案化的薄膜，怎么做掩膜？普通光刻胶可以吗？

道生一，一生二，二生三，三生万物~~~

2楼2015-12-04 15:44:20

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新虫 (初入文坛)

引用回帖:

2楼: Originally posted by binglvyin at 2015-12-04 15:44:20
楼主，我也想用ALD沉积TiO2薄膜，想请教一下，如果沉积图案化的薄膜，怎么做掩膜？普通光刻胶可以吗？

有选择性沉积方法，需要对表面进行适当修饰

babamy@gmail.com

3楼2018-11-23 12:30:53

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