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金虫 (小有名气)

[交流] 【求助】磁控溅射和溶胶凝胶，which better

磁控溅射和溶胶凝胶方法镀膜，为什么用磁控溅射要好的多？成膜质量也好的多

[ Last edited by SHY31 on 2008-8-29 at 10:24 ]

在模仿中成长，在创新中成功

1楼 2008-08-29 10:21:24

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至尊木虫 (著名写手)

我知道用溶胶凝胶法容易引入氢离子，金属离子（哪怕用去离子水），还有溶胶凝胶在溶液和大气环境中制备，磁控溅射在真空环境中制备污染少多了。没做过这东西，姑妄言之。

2楼2008-08-29 10:27:33

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木虫 (正式写手)

磁控溅射镀膜主要是以原子的形式溅射在基底成膜的，成膜致密、均匀、表面平滑、与基底结合紧密、质量好。
溶胶凝胶法镀膜比较粗糙，成膜不致密，均匀性差。

3楼2008-08-29 10:30:54

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