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磁控溅射里怎么样固定热氧化获得的扭曲衬底？
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我使用热氧化方法，将铜箔氧化成Cu2O，但是氧化获得的Cu2O是不平整的，有一定的扭曲，并且形状也是不规则的。我想使用磁控溅射在上面沉积ZnO，应该怎么固定Cu2O衬底呢？ 我试了双面胶，但是双面胶只能粘住几个点，在磁控溅射中被离子轰击受热样品就会掉落。 |
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