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AngusHope

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射里怎么样固定热氧化获得的扭曲衬底?

我使用热氧化方法,将铜箔氧化成Cu2O,但是氧化获得的Cu2O是不平整的,有一定的扭曲,并且形状也是不规则的。我想使用磁控溅射在上面沉积ZnO,应该怎么固定Cu2O衬底呢?
我试了双面胶,但是双面胶只能粘住几个点,在磁控溅射中被离子轰击受热样品就会掉落。
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