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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 纳米压印模板的寿命
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学士不学诗

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

想请教楼主一个问题
软模板压印产生的变形缺陷应该怎么消除呢？
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11楼2015-11-01 21:26:31
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tulu1989

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

引用回帖:
11楼: Originally posted by 学士不学诗 at 2015-11-01 21:26:31
想请教楼主一个问题
软模板压印产生的变形缺陷应该怎么消除呢？

软压印模板畸变问题是一个难以克服的问题，主要包含横向畸变和竖向畸变两种，关于竖向畸变，可以通过提高PDMS硬度来缓解。关于横向畸变（lateral distortion），需要制备复合模板来提高模板的面内刚度。
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12楼2016-01-19 19:50:11
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