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后山AND前门

银虫 (初入文坛)

[求助] 在LTPS成膜中,会镀膜二氧化硅和氮化硅,那种对金属离子具有阻挡作用?已有1人参与

主针对是Act MASk--Buffer层(氮化硅在下面,氧化硅在上面)。
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lwb870525

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

阻挡Glass在高温下向a-Si中金属离子扩散的是SiNx层
人一旦过于认真,结果往往注定是悲剧;玩世不恭,有时候或许是喜剧,最多也就是部闹剧。喜剧皆大欢喜,闹剧一笑而过,悲剧却是一生的痛,赢得了社会,却输了自己
2楼2016-08-04 20:13:01
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