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在LTPS成膜中，会镀膜二氧化硅和氮化硅，那种对金属离子具有阻挡作用？ 已有1人参与
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| 主针对是Act MASk--Buffer层（氮化硅在下面，氧化硅在上面）。 |
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lwb870525
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2楼2016-08-04 20:13:01