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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 无机/物化 » 无机化学 » 在LTPS成膜中，会镀膜二氧化硅和氮化硅，那种对金属离子具有阻挡作用？
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后山AND前门

银虫 (初入文坛)

[求助] 在LTPS成膜中，会镀膜二氧化硅和氮化硅，那种对金属离子具有阻挡作用？ 已有1人参与

主针对是Act MASk--Buffer层（氮化硅在下面，氧化硅在上面）。
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1楼 2015-09-08 18:13:39
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lwb870525

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

阻挡Glass在高温下向a-Si中金属离子扩散的是SiNx层
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人一旦过于认真，结果往往注定是悲剧；玩世不恭，有时候或许是喜剧，最多也就是部闹剧。喜剧皆大欢喜，闹剧一笑而过，悲剧却是一生的痛，赢得了社会，却输了自己
2楼2016-08-04 20:13:01
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