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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 膜技术 » 靶材烧制
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张大雄

银虫 (小有名气)

[求助] 靶材烧制 已有1人参与

烧出的靶材致密度为93%，用PLD长膜，成大颗粒状，是不是靶材的致密度太low，一般需要的致密度大致为多少？谢谢
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1楼 2015-09-08 10:57:22
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szz-bj

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
张大雄: 金币+2 2015-09-09 14:57:38
张大雄: 金币+2 2015-09-21 16:42:30
张大雄: 金币+6, ★★★很有帮助 2015-10-20 19:37:56
一般单质靶的致密度都在95%左右吧，我们从北京中诺买的靶都在95%以上，镀出来的膜层蛮好的，不过也不一定就是致密度的问题，也许是有杂质呢
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2楼2015-09-09 10:49:32
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张大雄

银虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by szz-bj at 2015-09-09 10:49:32
一般单质靶的致密度都在95%左右吧，我们从北京中诺买的靶都在95%以上，镀出来的膜层蛮好的，不过也不一定就是致密度的问题，也许是有杂质呢

有没有自己烧过？
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3楼2015-09-09 14:57:40
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小白雪
4楼2015-09-10 09:21:00
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wiseroy

木虫 (著名写手)

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善良
5楼2016-04-18 21:49:56
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