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漫步云端008

新虫 (初入文坛)

[求助] 求助有懂磁控溅射中如何使用PEM控制器（speedflo）的吗？

本人研究磁控溅射制备钛氧薄膜的课题，实验中为了准确控制薄膜的性能需要用英国真科公司的speedflo来控制反应气体。磁控溅射使用的是钛靶，氧气和氩气，speedflo控制的是氧气量，另外有钛和氧的滤光片。有熟悉speedflo的使用的吗？求教！
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1楼 2015-09-07 15:55:21
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lisx2525

新虫 (初入文坛)
有我了解一些， 这个要看你想得到钛氧的比例了， 有的可以， 有的不可以。 谢谢
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2楼2015-09-22 09:44:20
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