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幸运小虫子

铜虫 (小有名气)

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[交流] 帮忙看一下这样的SEM图

大家帮忙看一下我拍的SEM图，特别不清晰，问题出在哪里？？？
[search]SEM[/search]

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1楼 2008-08-26 15:19:41

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temedx

专家顾问 (著名写手)

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性别: GG
专业: 催化化学
管辖: 微米和纳米

★ ★
SHY31(金币+2,VIP+0):谢谢热心回答

这是日本电子（JEOL）的电镜上拍的，无论是钨灯丝还是场发射电镜，在25 kV下拍10000倍都应该是轻而易举的事情，所以应该从操作和样品预处理上找原因。
1. 样品图像像散不明显，但聚焦不清，可以考虑调整工作距离（WD），比如到5 mm，拉近样品与物镜的距离，减少电子束的发散。也有可能是你的spotsize比较大，可以减小spotsize，小的光斑对于成像的分辨率提高有比较明显的作用。我个人觉得不像是导电性差导致的，即使有也不明显，如果这样，可以在前面操作的基础上，增加扫描时间，提高信噪比。
2. 样品表面如果有一层平整的镀膜，由于二次电子（SE）产率对于样品的起伏比较敏感，所以得不到反差比较大的图片，这个时候，可以考虑倾转样品，或许会有比较好的效果，如果是污染的有机膜，可以考虑用丙酮等有机溶剂清洗后再看。

个人意见，仅供参考。