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微小气体流量怎么实现？ 已有4人参与
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本人做等离子体相关研究，一般产生等离子体通入的气体流量大小有大有小，最近看到一篇文献中，有通入Ar流量为3.6X10-4 ml/min，如此小的流量不知道是如何实现的？我给通讯作者也发了邮件询问，但是一直没有给回音。各位大侠有知道这个微小流量是怎么实现的？有这么小的气体质量流量计吗？万分感谢！小弟是新人，还没有多少金币，请大家见谅啊~ 论文截图.jpg |
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mpsheng
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2楼2015-08-31 00:24:41
xjuwq
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做两次1:100分流就好了 发自小木虫Android客户端 |
3楼2015-08-31 23:31:03
mtjmzxl
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luolinfeng
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