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求助：在si（100）表面制备有序ZrO2薄膜
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| 预备做有关担载贵金属如：Au、Pt的课题研究，衬底选择ZrO2，但是如何在Si表面长出有序的ZrO2薄膜，很没有经验，老板原本不做这个方向没有给出什么指导，看文献有磁控溅射法，但这个方法据说制备的薄膜缺陷太大不适合做模型催化剂用（自己没有做过，听做过其他薄膜的师兄说的），电子束蒸发的方法也许更适合在我们自己站上完成，只是还是没有经验，想请教各位有经验的虫虫给点关于电子束蒸发制备薄膜方面的经验 |
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