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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 设计与制备 » 求助各位大牛，用PLD制备NiOx该选NiO靶材呢还是Ni靶材？
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1326156932

铜虫 (小有名气)

[求助] 求助各位大牛，用PLD制备NiOx该选NiO靶材呢还是Ni靶材？ 已有2人参与

小弱刚接触PLD，什么都不懂，现在想用PLD制备NiOx，在Si衬底上，该选NiO靶材呢还是Ni靶材？看文献有的说NiO target有的说Ni target很是困惑；用NiO target的，有的是选用的粉末状靶材，总之刚开始弄，搞不清楚......导师让我找直径一英寸，厚度3mm-5mm，我理解的应该不是粉末吧？求大牛给点点拨......拜托了
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1楼 2015-08-27 15:09:33
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szz-bj

铜虫 (小有名气)
粉末靶材应该是说的靶材是用粉压制的吧，靶材和粉末肯定是两个概念，你可以问下老师用金属靶还是陶瓷靶哪个更好一些
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2楼2015-08-27 16:18:26
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热电材料元元

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
1326156932: 金币+8, ★★★很有帮助 2015-08-28 08:48:18
在压片机下，将粉末压成所需规格的靶材（合适的模具），作为PLD镀膜的靶材。若想镀NiOx膜,则用NiOx靶材，或者用Ni，但需在O2气氛下操作。若需镀纯Ni膜，则需要在高真空下，使用Ni靶材镀膜。
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3楼2015-08-27 22:05:43
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1326156932

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 热电材料元元 at 2015-08-27 22:05:43
在压片机下，将粉末压成所需规格的靶材（合适的模具），作为PLD镀膜的靶材。若想镀NiOx膜,则用NiOx靶材，或者用Ni，但需在O2气氛下操作。若需镀纯Ni膜，则需要在高真空下，使用Ni靶材镀膜。

对，NiO或者Ni靶材都有人在用，感觉NiO用的多一些...看到也有公司卖现成的NiO foil target的，那是不是买来直接用就好不用自己压制成薄片了？还是买来粉末状的再自己加工成薄片比较好呢？多谢详细的回复！
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4楼2015-08-28 08:36:35
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1326156932

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by szz-bj at 2015-08-27 16:18:26
粉末靶材应该是说的靶材是用粉压制的吧，靶材和粉末肯定是两个概念，你可以问下老师用金属靶还是陶瓷靶哪个更好一些

非常感谢！多问一句，陶瓷靶材就是指NiO靶材，制成薄片状的意思吧？可不可以理解成NiO的粉末状压制后就是NiO陶瓷靶材？
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5楼2015-08-28 08:38:28
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shubaqingguo

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
引用回帖:
5楼: Originally posted by 1326156932 at 2015-08-28 08:38:28
非常感谢！多问一句，陶瓷靶材就是指NiO靶材，制成薄片状的意思吧？可不可以理解成NiO的粉末状压制后就是NiO陶瓷靶材？...

理解成NiO的粉末状压制（烧结）后就是NiO陶瓷靶材
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6楼2015-08-28 09:58:59
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szz-bj

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by 1326156932 at 2015-08-28 08:38:28
非常感谢！多问一句，陶瓷靶材就是指NiO靶材，制成薄片状的意思吧？可不可以理解成NiO的粉末状压制后就是NiO陶瓷靶材？...

对的
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7楼2015-08-28 11:33:18
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