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1326156932

铜虫 (小有名气)

[求助] 求助各位大牛,用PLD制备NiOx该选NiO靶材呢还是Ni靶材? 已有2人参与

小弱刚接触PLD,什么都不懂,现在想用PLD制备NiOx,在Si衬底上,该选NiO靶材呢还是Ni靶材?看文献有的说NiO target有的说Ni target很是困惑;用NiO target的,有的是选用的粉末状靶材,总之刚开始弄,搞不清楚......导师让我找直径一英寸,厚度3mm-5mm,我理解的应该不是粉末吧?求大牛给点点拨......拜托了
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szz-bj

铜虫 (小有名气)

粉末靶材应该是说的靶材是用粉压制的吧,靶材和粉末肯定是两个概念,你可以问下老师用金属靶还是陶瓷靶哪个更好一些
2楼2015-08-27 16:18:26
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热电材料元元

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
1326156932: 金币+8, ★★★很有帮助 2015-08-28 08:48:18
在压片机下,将粉末压成所需规格的靶材(合适的模具),作为PLD镀膜的靶材。若想镀NiOx膜,则用NiOx靶材,或者用Ni,但需在O2气氛下操作。若需镀纯Ni膜,则需要在高真空下,使用Ni靶材镀膜。
3楼2015-08-27 22:05:43
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1326156932

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 热电材料元元 at 2015-08-27 22:05:43
在压片机下,将粉末压成所需规格的靶材(合适的模具),作为PLD镀膜的靶材。若想镀NiOx膜,则用NiOx靶材,或者用Ni,但需在O2气氛下操作。若需镀纯Ni膜,则需要在高真空下,使用Ni靶材镀膜。

对,NiO或者Ni靶材都有人在用,感觉NiO用的多一些...看到也有公司卖现成的NiO foil target的,那是不是买来直接用就好不用自己压制成薄片了?还是买来粉末状的再自己加工成薄片比较好呢?多谢详细的回复!
4楼2015-08-28 08:36:35
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1326156932

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by szz-bj at 2015-08-27 16:18:26
粉末靶材应该是说的靶材是用粉压制的吧,靶材和粉末肯定是两个概念,你可以问下老师用金属靶还是陶瓷靶哪个更好一些

非常感谢!多问一句,陶瓷靶材就是指NiO靶材,制成薄片状的意思吧?可不可以理解成NiO的粉末状压制后就是NiO陶瓷靶材?
5楼2015-08-28 08:38:28
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shubaqingguo

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
引用回帖:
5楼: Originally posted by 1326156932 at 2015-08-28 08:38:28
非常感谢!多问一句,陶瓷靶材就是指NiO靶材,制成薄片状的意思吧?可不可以理解成NiO的粉末状压制后就是NiO陶瓷靶材?...

理解成NiO的粉末状压制(烧结)后就是NiO陶瓷靶材
6楼2015-08-28 09:58:59
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szz-bj

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
5楼: Originally posted by 1326156932 at 2015-08-28 08:38:28
非常感谢!多问一句,陶瓷靶材就是指NiO靶材,制成薄片状的意思吧?可不可以理解成NiO的粉末状压制后就是NiO陶瓷靶材?...

对的
7楼2015-08-28 11:33:18
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