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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 交流互助 » 请问各位兄弟大神，Cr圆饼使用完后出现瘤子样子的东东是怎么回事？
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer
引用回帖:
10楼: Originally posted by sdlcgx1985 at 2015-10-13 15:06:56
我测试了瘤子部分的晶粒和成分，与其他部位的没什么区别，是不是靶材中毒的特征呢？...

若是中毒，就不会等你快使用完了的时候还可以使用的。有可能是长时间的溅射过程中，有些溅射的颗粒由于颗粒之间的碰撞以及电磁场的综合作用，又反方向被打回到靶材上来了呢？
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11楼2015-10-13 15:27:50
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