请问各位兄弟大神，Cr圆饼使用完后出现瘤子样子的东东是怎么回事？ - 金属 - 交流互助

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木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

引用回帖:

10楼: Originally posted by sdlcgx1985 at 2015-10-13 15:06:56
我测试了瘤子部分的晶粒和成分，与其他部位的没什么区别，是不是靶材中毒的特征呢？...

若是中毒，就不会等你快使用完了的时候还可以使用的。有可能是长时间的溅射过程中，有些溅射的颗粒由于颗粒之间的碰撞以及电磁场的综合作用，又反方向被打回到靶材上来了呢？

11楼2015-10-13 15:27:50

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

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