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sdlcgx1985

银虫 (初入文坛)

[求助] 请问各位兄弟大神,Cr圆饼使用完后出现瘤子样子的东东是怎么回事?已有2人参与

请问各位兄弟大神,Cr圆饼使用完后出现瘤子样子的东东是怎么回事?不胜感激。

请问各位兄弟大神,Cr圆饼使用完后出现瘤子样子的东东是怎么回事?
Cr圆饼起瘤子.jpg
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
有可能是靶材不致密的原因造成的缺陷。靶材不致密,空洞中就残存有空气和其他污染性气体并被封闭在靶材中。使用时这些气体在放电的局部高温下会氧化金属材料,形成氧化物夹杂聚集在靶材表面形成瘤子状形貌。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
9楼2015-08-28 21:12:17
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


引用回帖:
10楼: Originally posted by sdlcgx1985 at 2015-10-13 15:06:56
我测试了瘤子部分的晶粒和成分,与其他部位的没什么区别,是不是靶材中毒的特征呢?...

若是中毒,就不会等你快使用完了的时候还可以使用的。有可能是长时间的溅射过程中,有些溅射的颗粒由于颗粒之间的碰撞以及电磁场的综合作用,又反方向被打回到靶材上来了呢?
11楼2015-10-13 15:27:50
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