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andywei2013

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[求助] 怎么去表征薄膜的耐磨损性能已有4人参与

使用PVD及溅射的方法制备的TiC薄膜，估计就两个微米的厚度，该怎么测试表征其耐磨性？一般使用什么设备？求大神指教。

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薄膜制备与特性

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美国材料科学与工程专业（转载）已经有62人回复

改变是为了让自己变得更优秀，不改变是为了做最真实的自己。

1楼 2015-08-18 11:16:34

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zbhwel

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【答案】应助回帖

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andywei2013: 金币+2, ★有帮助 2015-08-18 16:30:02

采用纳米压痕能够获得薄膜硬度、模量、粘接性能、膜层状态、断裂韧性等力学性能。纳米划痕可以表征墓体的表面状况、薄膜/结合力、耐磨损等性能。
UMT显微力学测试仪上可以测试了薄膜的耐磨损性能
参考文献：
基于纳米试验技术的薄膜基体体系显微力学性能表征
射频功率对氧化铬薄膜的力学性能和耐磨损性能的影响

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主要从事稀有金属钛合金、钽铌及其合金，铍青铜材料及管棒线材塑性加工技术研究与生产。

2楼2015-08-18 12:13:05

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andywei2013

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引用回帖:

2楼: Originally posted by zbhwel at 2015-08-18 12:13:05
采用纳米压痕能够获得薄膜硬度、模量、粘接性能、膜层状态、断裂韧性等力学性能。纳米划痕可以表征墓体的表面状况、薄膜/结合力、耐磨损等性能。
UMT显微力学测试仪上可以测试了薄膜的耐磨损性能
参考文献：
基于 ...

我看文献上好多使用叫Ball(Sphere)-on-flat（中文不知道叫什么）的设备来测试磨损性能，不知道能不能用在薄膜的测试上。

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改变是为了让自己变得更优秀，不改变是为了做最真实的自己。

3楼2015-08-18 15:24:09

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