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greenwave8631

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[求助] 请问磁控溅射镀膜仪在工作过程中会产生X射线吗，孕妇可以长期做吗？已有7人参与

本人小白一枚，最近怀孕了，老板让我接管磁控溅射仪，怕怕的，诚心求助各位大侠！！

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最难的是始终维持一份激情

1楼 2015-08-13 15:35:09

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leongoall

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P-M-I之初生牛犊

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【答案】应助回帖

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greenwave8631: 金币+10, ★★★很有帮助 2015-08-17 12:27:05

X射线光子产生于高能电子加速，产生X射线的最简单方法是用加速后的电子撞击金属靶。撞击过程中，电子突然减速，其损失的动能会以光子形式放出，形成X光光谱的连续部分，这就是所谓的韧致辐射。通过加大加速电压，电子携带的能量增大，则有可能将金属原子的内层电子撞出。于是内层形成空穴，外层电子跃迁回内层填补空穴，同时放出波长在0.1纳米左右的光子。由于外层电子跃迁放出的能量是量子化的，所以放出的光子的波长也集中在某些部分，形成了X光谱中的特征线，刺猬特征辐射。

回到你的问题，磁控溅射过程中撞击金属靶的是离化的气体离子或分子团，而并不是电子，因为在电子在阴极靶材表面的会切磁场作用下做与离子环绕方向相反的运动，其旋转半径极小在尚未到达阴极前就已经被其他粒子碰撞而消失。即使有电子能到达阴极，其能量也不足以产生X射线！加上磁控溅射的真空腔室本身的屏蔽作用，你根本都不用担心！反倒是你可能用到的射频电源本身的辐射一定要做好屏蔽，最好只用直流源！