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制备氧化硅薄膜
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| 亲们，我想知道利用T-ALD制备二氧化硅薄膜，在单质硅片（表面应该被氧化了大约1-2nm厚的氧化硅）上面直接镀二氧化硅薄膜好呢，还是先镀一层氧化铝，然后再镀氧化硅比较好？听说氧化铝薄膜会对氧化硅薄膜有一定的催化作用，但是我们前驱体源选用的是TDMAS，不知道是否还适用?求大神指教.... |
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