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恒压下硅衬底电阻稳定性
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请高手指点,我在下图的叉指电极两边加恒定电压,但是测试到的暗态电流不稳定,有逐渐增大的趋势。 衬底为n-Si,电阻率在1-10欧姆厘米,叉指电极为金电极。 有对硅衬底熟悉的朋友,请指点一下,感谢。 IMG_20150605_080829_副本.jpg |
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2楼2019-03-25 14:21:44












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