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gamma337

银虫 (小有名气)

[交流] 【求助】什么是异质外延?

请教虫友,什么是异质外延,是什么方面的概念,是方法还是现象,类似的概念有那些?
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flbwlx

铁杆木虫 (职业作家)

单身家族之“大总管”

异质外延是针对半导体生长来说的,例如在Si衬底上生长ZnO,不是同种物质,所以生长的半导体薄膜可以叫做异质外延。回答的不怎么具体抱歉
2楼2008-08-15 22:46:12
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kaixing004

木虫 (正式写手)

楼上的说得不错,是这样的。外延是在单晶体上生长一层与基体晶体结构相同或类似的晶体,根据外延层是否与基体材料相同,可分为异质外延和同质外延两种
PTFE微孔膜技术研发工程师
3楼2008-08-16 09:13:14
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BUSKIN

木虫 (小有名气)

异质外延 你把它分成2个来理解
异质,就是衬底和薄膜不是同一个物质,比如上面说的Si/ZnO,如果是Si上长Si就是同质了
外延,就是说衬底和薄膜的晶体结构取向一样,比如你的衬底是单晶001方向的,薄膜也都是沿着这个方向生长的,就是外延,可以用XRD分析。如果薄膜不只是001,还有什么100,110(考虑非立方格子^_^),那就不是外延,就是多晶薄膜。
4楼2008-08-16 10:37:50
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gamma337

银虫 (小有名气)

请问这个生长是怎么实现的,是用物理/化学气相沉积吗?
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5楼2008-08-16 21:52:04
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flbwlx

铁杆木虫 (职业作家)

单身家族之“大总管”

生长薄膜有很多方法,你可以查一查,有什么磁控溅射,化学汽象外延,PLD等等多种方法,
6楼2008-08-17 00:07:46
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