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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 交流探讨 » 在使用微波炉对硅片退火过程中出现打火的现象，求大神分析原因及解决方案。
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ligongt

金虫 (小有名气)

[求助] 在使用微波炉对硅片退火过程中出现打火的现象，求大神分析原因及解决方案。已有3人参与

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1楼2015-08-05 11:25:26
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bible2

版主 (职业作家)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
是不是硅片离内壁太近？
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2楼2015-08-06 14:54:45
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guxue

专家顾问 (知名作家)

学习使人进步

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
出现间隙放电现象。尽量减小片间隙。
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青出于蓝而胜于蓝
3楼2015-08-06 18:27:18
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yangyxj

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
硅片吸波性能不好,可适当降低微波功率;
有没有抽真空?如果抽真空的话,在某些真空度也会打火比较厉害;
是否打火都位于硅片棱角位置？
以上只是大概分析，具体需要你再描述清楚一点。
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4楼2015-08-06 20:13:57
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