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mimeng

银虫 (正式写手)

[交流] 【求助】蒸镀ITO电阻率太高

      几次在玻璃上 制备ITO都测得很高的电阻率, 我的导电能力都比它好...^^, 不知道该如何是好? 特此请教...
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xiaobo1255

木虫 (著名写手)


SHY31(金币+1,VIP+0):谢谢交流
你这种电阻率测量 自己底下做定性还可以,见不得台面啊
4楼2008-08-13 13:14:21
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liyanning2008

金虫 (小有名气)

请教

楼主是磁控溅射镀膜吗??ITO靶是自己制作的吗??
楼主的导电能力是怎么表征的?制备ITO都测得很高的电阻率是体积电阻率还是表面电阻率??
2楼2008-08-13 08:56:48
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mimeng

银虫 (正式写手)

真空蒸发的
我用两只手捏住万用表, 读出了本人的电阻,咔咔咔
用四探针测量不出来
3楼2008-08-13 11:45:39
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