SU8 2075 光刻出了大问题 - 微米和纳米 - 微纳加工 - 第2页小木虫论坛-学术科研互动平台

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zionslm

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引用回帖:

10楼: Originally posted by wellsalon at 2015-07-31 15:42:13
谢谢，如果不匀，是不是会造成曝光图像的失真呢？...

光刻胶先回温，匀胶前抽真空、静置一段时间。用针头手动拨开大气泡

11楼2015-09-20 18:10:49

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li19910228

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去边可以在软烘后直接用美工刀把边缘处刮掉，点胶也比较关键，还有它的烘烤条件不是比较复杂么？有没有照着来

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12楼2015-09-20 23:57:24

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黄治浩

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虽然没做过这么厚的胶，看图案有点过曝

风继续吹

13楼2015-09-21 08:29:13

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15810770295

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曝光时间过短，显影时间过长导致胶连。

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14楼2015-10-22 10:06:05

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jade_yang

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楼主问题解决了吗

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15楼2021-05-27 10:07:27

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