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碲化铋等离子反应刻蚀的产物是什么
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请问各位大神，碲化铋用SF6+CF4两种刻蚀气体混合等离子反应刻蚀的产物是什么？如果生成气体，请告诉我是什么气体，并且会达到的温度是多少，要具体。谢谢！急急急。。。。。 |
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 薄膜制备与特性 |
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