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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 碲化铋等离子反应刻蚀的产物是什么
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chulukou

新虫 (初入文坛)

[求助] 碲化铋等离子反应刻蚀的产物是什么

请问各位大神，碲化铋用SF6+CF4两种刻蚀气体混合等离子反应刻蚀的产物是什么？如果生成气体，请告诉我是什么气体，并且会达到的温度是多少，要具体。谢谢！急急急。。。。。
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1楼 2015-07-30 16:39:14
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chulukou

新虫 (初入文坛)
顶顶顶，求大神门帮助啊
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2楼2015-07-31 09:20:25
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JJFstudy

新虫 (小有名气)
您好，问题解决了吗？为啥用这两种气体？
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3楼2018-06-26 13:51:33
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