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碲化铋等离子反应刻蚀的产物是什么
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请问各位大神,碲化铋用SF6+CF4两种刻蚀气体混合等离子反应刻蚀的产物是什么?如果生成气体,请告诉我是什么气体,并且会达到的温度是多少,要具体。谢谢!急急急。。。。。 |
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薄膜制备与特性 |
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