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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 交流探讨 » 【求助】溶胶-凝胶法准备SiO2膜
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stardom427

木虫 (著名写手)

[交流] 【求助】溶胶-凝胶法准备SiO2膜

最近一直在做溶胶-凝胶法在硅片上制备SiO2膜，请问除了提拉法，甩胶法外，还有什么方法能得到均匀的膜？我用喷涂法试了段时间，感觉不可行，请各位赐教。。。

[ Last edited by SHY31 on 2008-8-12 at 11:23 ]
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1楼 2008-08-12 10:22:49
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stardom427

木虫 (著名写手)
甩胶法，我没用过，，，因为根本不适合工业化生产。。。
提拉也没有用过，也不适合工业化生产。。。
唯有喷涂适合。。。但是现在做出的膜颗粒感太强。。。。
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3楼2008-08-12 11:54:11
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ranon

金虫 (正式写手)
不知道你的甩胶法 是不是spin coating,我以前用过spin coating,感觉还不错。楼主提到的这几种方法都可以得到均匀的膜。一是要注意基板有没有彻底洗净，二是溶液一定要均匀，不要有沉淀。 最后就是镀膜的参数。每个人情况不同，要经过一系列的实验才能确定参数。即使换一种方法，还是要经过这个过程。
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2楼2008-08-12 11:43:15
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