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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 请问有谁知道国内哪家单位可以对外做光刻电极。
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sunyong1986

新虫 (小有名气)

[求助] 请问有谁知道国内哪家单位可以对外做光刻电极。已有2人参与

如题，最近想做一下单根纳米线的场效应管器件，但是不想再系统研究光刻电极的制作工艺，所以想直接购买，哪位能推荐个地方，不胜感激！
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1楼2015-07-29 21:14:16
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黄治浩

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
sunyong1986: 金币+5, ★★★很有帮助, 谢谢 2015-08-25 11:56:05
做电极还是比较容易的电子束蒸发就行了，设备很多学校都有很普遍，苏州纳米所，国家纳米中心都可以制作全套的工艺，还有许多高校都可以如长沙的，南京的，天津的等
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风继续吹
4楼2015-08-09 14:02:13
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CruiserD

至尊木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
sunyong1986: 金币+5, ★★★很有帮助 2015-08-08 10:45:42
制作掩膜板可以去P大物理学院北边微电子所那里，不过似乎要自己制作掩膜板样式~彼处还可以购买硅片~
光刻、沉积电极、Si腐蚀等工作，清华-富士康纳米中心可以搞~

这两个都对外~
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卢瑟·西门罗夫同志
2楼2015-07-30 08:51:19
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sunyong1986

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by CruiserD at 2015-07-30 08:51:19
制作掩膜板可以去P大物理学院北边微电子所那里，不过似乎要自己制作掩膜板样式~彼处还可以购买硅片~
光刻、沉积电极、Si腐蚀等工作，清华-富士康纳米中心可以搞~

这两个都对外~

多谢
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3楼2015-08-08 10:45:50
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