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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » PECVD设定的功率打不出辉光，怎么解决？
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moleyady

禁虫 (初入文坛)
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1楼 2015-07-28 16:15:47
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waterque

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
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moleyady(月牙儿的微笑代发): 金币+2, 感谢参与交流 2015-11-13 17:17:31
起辉的条件比较复杂，除了功率，还跟气流，气压以及气体成分等条件有密切关系。建议尝试微调其他参数，比如气流，或者气压
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行自己的路：waterque@hotmail.com
2楼2015-07-28 21:32:23
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量子纠缠

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
moleyady(月牙儿的微笑代发): 金币+2, 感谢参与交流 2015-11-13 17:17:52
建议用Ar气先起辉，从气压开始调，这样容易一点。起辉之后，其他条件就容易了。
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3楼2015-07-28 22:36:53
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