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金虫 (小有名气)

[交流] 【求助】求做微小台阶的方法

我需要做一楼梯式微小台阶，每个台阶高度是100纳米，台面宽度为500微米。向各位大虾请教，请大家畅所欲言，给些意见。谢谢！

[ Last edited by caosw2001 on 2008-8-12 at 09:22 ]

1楼 2008-08-11 09:50:06

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木虫 (小有名气)

★
想买好车(金币+1,VIP+0):谢谢你的建议！

你可以用掩膜遮挡
也就是说部分覆盖，只长一部分
每生长100纳米，掩膜移动500微米
移动的距离可以放到显微镜底下对准
厚度只有靠生长条件控制了

掩膜技术适用于定向性能较好的等离子体沉积方式

4楼2008-08-13 08:53:54

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金虫 (小有名气)

没人给点意见吗

2楼2008-08-11 15:09:57

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木虫 (正式写手)

★
想买好车(金币+1,VIP+0):谢谢你的建议！

你的要求实际上是纳米构筑的问题了.
除了物理方法.
也许可以考虑STM的诱导沉积,可以控制多层台阶,不过操作要求一定相关背景.

其他珍藏书籍------ http://emuch.net/bbs/my.php?uid=66448

3楼2008-08-13 08:41:13

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