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雷文伟

金虫 (小有名气)

[求助] 石墨烯制备方法hot-wall CVD和cool-wall CVD 已有1人参与

石墨烯制备方法hot-wall CVD和cool-wall CVD有什么区别，冷热是什么意思？
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1楼 2015-07-26 08:01:37
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雷文伟

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by aliancer at 2015-07-30 12:30:15
hot-wall  CVD 是把加热单元放在真空系统的外壁，加热整个腔体。cool-wall CVD是把加热源放在真空腔内部，仅仅对所需的区域进行加热，而为了防止真空腔温度过高，有时会对腔壁进行水冷

十分感谢，这个是设备上可以调节的吗？整个仪器叫什么？
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3楼2015-08-15 10:42:36
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aliancer

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
雷文伟: 金币+10, ★★★★★最佳答案 2015-08-15 10:42:40
hot-wall  CVD 是把加热单元放在真空系统的外壁，加热整个腔体。cool-wall CVD是把加热源放在真空腔内部，仅仅对所需的区域进行加热，而为了防止真空腔温度过高，有时会对腔壁进行水冷
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哀吾生之须臾,羡长江之无穷;挟飞仙以遨游,抱明月而长终;知不可乎骤得,托遗响于悲风
2楼2015-07-30 12:30:15
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aliancer

木虫 (正式写手)
CVD反应炉，温度气体流量等都可以调节。热壁的真空腔一般采用石英管，所以也叫做管式CVD炉，便宜的几万块钱吧。至于冷壁的，目前一般用的较少，不太常见，我也没见过
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哀吾生之须臾,羡长江之无穷;挟飞仙以遨游,抱明月而长终;知不可乎骤得,托遗响于悲风
4楼2015-08-15 14:46:11
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