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雷文伟

金虫 (小有名气)

[求助] 石墨烯制备方法hot-wall CVD和cool-wall CVD 已有1人参与

石墨烯制备方法hot-wall CVD和cool-wall CVD有什么区别,冷热是什么意思?
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雷文伟

金虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by aliancer at 2015-07-30 12:30:15
hot-wall  CVD 是把加热单元放在真空系统的外壁,加热整个腔体。cool-wall CVD是把加热源放在真空腔内部,仅仅对所需的区域进行加热,而为了防止真空腔温度过高,有时会对腔壁进行水冷

十分感谢,这个是设备上可以调节的吗?整个仪器叫什么?
3楼2015-08-15 10:42:36
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查看全部 4 个回答

aliancer

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
雷文伟: 金币+10, ★★★★★最佳答案 2015-08-15 10:42:40
hot-wall  CVD 是把加热单元放在真空系统的外壁,加热整个腔体。cool-wall CVD是把加热源放在真空腔内部,仅仅对所需的区域进行加热,而为了防止真空腔温度过高,有时会对腔壁进行水冷
哀吾生之须臾,羡长江之无穷;挟飞仙以遨游,抱明月而长终;知不可乎骤得,托遗响于悲风
2楼2015-07-30 12:30:15
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aliancer

木虫 (正式写手)

CVD反应炉,温度气体流量等都可以调节。热壁的真空腔一般采用石英管,所以也叫做管式CVD炉,便宜的几万块钱吧。至于冷壁的,目前一般用的较少,不太常见,我也没见过
哀吾生之须臾,羡长江之无穷;挟飞仙以遨游,抱明月而长终;知不可乎骤得,托遗响于悲风
4楼2015-08-15 14:46:11
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