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xiaoliu0140

金虫 (初入文坛)

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专业: 集成电路设计与测试

[求助] 椭偏仪测单晶硅为什么要将样品倾斜一个角度

SENTECH椭偏仪测单晶硅为什么要将样品倾斜一个角度,而测多晶硅则要求样品平放？

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1楼 2015-07-19 21:32:51

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luwnd

金虫 (小有名气)

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专业: 应用光学

【答案】应助回帖

虽然也用椭偏仪，但测薄膜时没遇到这种问题，好奇问一下，测硅的什么性质？倾斜是相对于什么来说？

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椭偏测试，光学/光谱仪器，太阳能电池测试，光谱响应度，labview

2楼2015-08-25 14:23:54

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