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静雅思听314

铁杆木虫 (正式写手)

[求助] 硅片在HF和H2O2溶液中腐蚀不出纳米线,求助求助

试了好几种溶液的配比,沉积完 Ag颗粒 直接去腐蚀,一直腐蚀不出来硅纳米线,溶液配比跟其他条件是看的文献跟一些毕业论文,总感觉结果差距好大,温度用的是50℃,文献上说的腐蚀时间都是半小时以上, 可是我的几乎十分钟硅片就已经腐蚀烂掉了,时间再短些就没有纳米线,不知道什么原因,,帮忙求分析
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waitUbluesky

新虫 (初入文坛)

如果你在50℃下腐蚀液浓度还是很高的话,腐蚀太剧烈,表面破坏会很严重。你试试常温低浓度的实验
2楼2015-09-29 09:27:24
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静雅思听314

铁杆木虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by waitUbluesky at 2015-09-29 09:27:24
如果你在50℃下腐蚀液浓度还是很高的话,腐蚀太剧烈,表面破坏会很严重。你试试常温低浓度的实验

恩好的 谢谢

发自小木虫IOS客户端
3楼2015-09-29 14:00:48
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LR12138

新虫 (初入文坛)

温度低点,我只用了HF,应该也可以,还没有用电镜看过
4楼2016-01-06 09:52:38
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