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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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Adolf_zhe

铁杆木虫 (小有名气)

[求助] 为什么在离子刻蚀金刚石用纳米金刚石作为mask

如题,文献中采用RIE(reactive ion etching)刻蚀金刚石获得纳米线,但为什么选用纳米金刚石作为etching mask呢?它不会被刻蚀掉吗?原理是啥?

为什么在离子刻蚀金刚石用纳米金刚石作为mask
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