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Adolf_zhe

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[求助] 为什么在离子刻蚀金刚石用纳米金刚石作为mask

如题，文献中采用RIE（reactive ion etching）刻蚀金刚石获得纳米线，但为什么选用纳米金刚石作为etching mask呢？它不会被刻蚀掉吗？原理是啥？

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1楼 2015-07-17 18:51:38

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