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为什么在离子刻蚀金刚石用纳米金刚石作为mask
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如题，文献中采用RIE（reactive ion etching）刻蚀金刚石获得纳米线，但为什么选用纳米金刚石作为etching mask呢？它不会被刻蚀掉吗？原理是啥？ 1.png |
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