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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 氧化硅衬底的疏水处理
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落泪的孤寂

木虫 (正式写手)

[求助] 氧化硅衬底的疏水处理 已有1人参与

目前手头上有带有300nm厚氧化层的硅片，想要将氧化层保留并提高疏水性，请教下如何处理可以达到我想要的这种结果
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悟以往之不谏，知来者之可追！
1楼 2015-07-15 15:54:20
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石银东

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by 落泪的孤寂 at 2015-07-15 16:47:08
我希望的是不改变表面的成分，还需要保留上面的氧化层，以此达到疏水的目的...

物质表面的成分决定物体表面的性质，比如疏水性，如果不改变表面成分实现，还要达到疏水性，看起来是矛盾的。
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4楼2015-07-15 17:14:30
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石银东

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
落泪的孤寂: 金币+1 2015-07-15 16:47:13
可以利用等离子表面处理技术，在表面加上纳米级别的疏水涂层，达到疏水的效果，涂层的厚度在几十纳米左右，供参考。

当然，您也可以尝试别的处理技术。
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2楼2015-07-15 16:01:35
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落泪的孤寂

木虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 石银东 at 2015-07-15 16:01:35
可以利用等离子表面处理技术，在表面加上纳米级别的疏水涂层，达到疏水的效果，涂层的厚度在几十纳米左右，供参考。

当然，您也可以尝试别的处理技术。

我希望的是不改变表面的成分，还需要保留上面的氧化层，以此达到疏水的目的
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悟以往之不谏，知来者之可追！
3楼2015-07-15 16:47:08
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Chelery0526

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 石银东 at 2015-07-15 17:14:30
物质表面的成分决定物体表面的性质，比如疏水性，如果不改变表面成分实现，还要达到疏水性，看起来是矛盾的。...

做成疏水的纳米结构就可以，类似荷叶的表面，因为结构的不同而产生疏水效果，不需要改变表面成分。但是纳米结构的设计和加工是另外一个难题，应该有类似的文献，可以找找
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天道酬勤，厚德载物
5楼2021-04-14 16:15:08
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