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wxb0626木虫 (正式写手)
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baoshanqiu
至尊木虫 (著名写手)
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- 专业: 胃肠道免疫相关疾病
【答案】应助回帖
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wxb0626: 金币+50, 翻译EPI+1, ★★★★★最佳答案 2015-07-16 17:16:54
wxb0626: 金币+50, 翻译EPI+1, ★★★★★最佳答案 2015-07-16 17:16:54
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【申请项1】用CVD法对析出生长的杆状多晶硅进行破碎的方法，以高密度激光对多晶硅表面、横向和纵向做局部短时间照射，这种热冲击使多晶硅内部弯曲造成表面缝隙进而从多晶硅内部进行破碎为特征的多晶硅破碎方法。 【申请项2】对杆状多晶硅表面做高密度激光照射时，照射方向从纵向到横向，又从横向到纵向交替照射及申请项1述及的破碎方法。 【申请项3】高密度激光的能量密度为1-500KW/cm2,每个照射点的直径为1-30mm及申请项1到2述及的破碎方法。 【申请项4】该激光为二氧化碳激光及申请项1~3述及的破碎方法。 |
2楼2015-07-15 23:24:41
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