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zhuyuchan

金虫 (小有名气)

[交流] 【请教】如何测涂层二氧化铱的XRD

请问,用XRD表征涂层成分和表征其它粉体材料的方法上有什么区别?我现在想对钛基二氧化铱涂层进行表征,请问常规的XRD可以分析吗?涂层厚度大概4-10μm.

[ Last edited by FLY_Phoenix on 2008-8-5 at 23:27 ]
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yhw9102

木虫 (小有名气)

可以用掠入射XRD来表征 4~10micron的厚度没问题的
我都测过几百nm的ITO薄膜
你的基体和膜要越平整越好
2楼2008-08-07 10:31:09
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xql508

铁虫 (小有名气)

对于这么厚的膜,普通的也能测量出来
3楼2008-08-20 08:01:56
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